PMS（参数管理系统）可以测定及对比设备的性能和状态，提高系统的稳定性，对需要改善的工艺和技术，提供优化策略。

       PMS系统可以实现工艺参数和机械参数的独立管理，通过对Parameter数据采集、查询、比对，设置Parameter 异常处理规则，做到参数整合管理，及时发现设备故障。