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PMS
PMS(参数管理系统)可以测定及对比设备的性能和状态,提高系统的稳定性,对需要改善的工艺和技术,提供优化策略。
PMS系统可以实现工艺参数和机械参数的独立管理,通过对Parameter数据采集、查询、比对,设置Parameter 异常处理规则,做到参数整合管理,及时发现设备故障。
